ТОР 5 статей: Методические подходы к анализу финансового состояния предприятия Проблема периодизации русской литературы ХХ века. Краткая характеристика второй половины ХХ века Характеристика шлифовальных кругов и ее маркировка Служебные части речи. Предлог. Союз. Частицы КАТЕГОРИИ:
|
Стохастические показатели качества реальных микро- и нанотехнологийВвиду сложности определения параметра Ni прямыми теоретическими (конструктором изделия) и экспериментальными методами, проведем его оценку на основе использования традиционных производственных показателей. Из всей совокупности последних в качестве параметра, определяющего взаимосвязь между параметрами Ht и Hi, уместно рассматривать вероятность выхода годных изделий. Представляется очевидным, что в первом приближении вероятность выхода годных изделий P зависит от соотношения между избирательностью технологии at и избирательностью ai, заложенной конструктором изделия для безусловного (P = 1) достижения функционального качества устройства (на практике, как правило, выполняется условие a t < a i):
С учетом выражения (2.30) и (2.34) для необходимой энтропии единичного размещения hi, при условии a i >> 1 (что имеет место для случаев микро- и нанотехнологий) имеем
В табл. 2.9 представлены значения параметров a i и h i, в зависимости от уровня технологии и вероятности выхода годных устройств. Т а б л и ц а 2.9. Зависимость избирательности и энтропии единичного размещения hi от уровня технологии и вероятности выхода годных устройств (при значении m=100)
Согласно данным табл. 2.9 следует, что достижение приемлемой в промышленной практике эффективности производства (Р > 0,1) возможно для изделий с показателями ai < 1011 и 109 соответственно для перспективного и высокого уровней технологии. В табл. 2.10 представлены значения Ni в зависимости от объема и вероятности выхода годных устройств, полученные на основании данных табл. 2.9. Т а б л и ц а 2.10. Зависимость количества реализаций Ni от физического объема и вероятности выхода годных устройств (при m= 100)
Примечание: запись вида (14) означает, что lg Ni = 14. Наличие в табл. 2.10 значений Ni близких единице свидетельствует о том, что для данных позиций конструктором закладывается, а технологу необходимо реализовать (при приемлемой вероятности выхода годных изделий) практически вырожденные конструкции, которым соответствуют единичные реализации размещения атомов. В то же время следует отметить, что для современных устройств (V > 1 мкм3) количество реализаций Ni при P > 0,1 достигает значений Ni >10130. В свете вышеизложенного весьма важным моментом является установление взаимосвязи между сложностью изделия (закладываемой конструктором на этапе проектирования) и уровнем технологии, необходимым для обеспечения заданного выхода годных изделий. Указанная взаимосвязь может быть установлена на основании выражений (2.31),(2.33) и (2.34) в виде
Последнее выражение позволяет определить эффективность согласования конструкторских решений (параметр С) с технологическими возможностями изготовления устройств (параметр К) для типичных производственных ситуаций, удовлетворяющих условию . Это условие позволяет обеспечить нормировку параметра P в виде 0 < P <1. При выполнении условия (что представляется маловероятным для случая микро- и нанотехнологий) имеет место: P = 1. Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском:
|