Апаратура для вимірювання питомого електричного опору напівпровідників

Установками для вимірювання ПЕО напівпровідників, що використовуються в промисловості, є, як правило, складний метрологічний комплекс, що складається з декількох функціонально з'єднаних блоків: стабілізованого джерела струму (генератора струму), маніпулятора, приладу для вимірювання падіння напруги, блоку фіксації і обробки результатів вимірювань (цифродрукуючий пристрій, самописець, вбудована ЕОМ і т.д.). Блок-схема такої установки показана на рис. 1.8.

1 – джерело струму; 2 – маніпулятор з вимірювальним датчиком; 3 – прилад для вимірювання падіння напруги; 4 – блок фіксації і обробки результатів вимірювань.

Рис. 1.8. Блок-схема зондової установки вимірювання ПЕО

Джерело струму повинне працювати в режимі генератора струму, тобто величина сили струму не повинна змінюватися при перенесенні зондів з однієї точки зразка в іншу. Звичайно він повинен забезпечувати зміну полярності струму і діапазон значень сили струму, відповідний призначенню установки. Допустимі відхилення сили струму в процесі вимірювань повинні бути не більше 0,5 % від його величини, а погрішність вимірювання – не більше 0,5 %.

Маніпулятор служить для кріплення зразка (злитка) і забезпечення переміщення вимірювального датчика щодо зразка.

Вимірювальний датчик (вимірювальна головка, вимірювальний перетворювач) служить для знімання сигналу вимірювальній інформації з тієї або іншої крапки або ділянки зразка.

В СНГ застосовують стандартні вимірювальні перетворювачі для чотиризондових вимірювань: С2080 – на =1,30 ± 0,01 мм; С2080М – на = 1,590 ± 0,013 мм і на = 0,750 ± 0,008 мм

Вимірювальна головка містить пружинячі лінійно розташовані зонди з вольфрамового дроту діаметром 0,5 мм із загостреним наконечником з твердих сплавів карбіду вольфраму (ВК 10, ВК 15, ВК 20), розміщені в утримувачі з ізолюючого матеріалу (фторопласт, оргскло), в отвори якого вставлені зносостійкі рубінові направляючі. Максимальний розмір робочої площі зонда не перевищує 50 мкм. Сила притиску кожного зонда до зразка коливається в межах 0,5.2,0 Н.

Вимірювальні головки, що виготовляються іноземними фірмами, мають приблизно таку ж конструкцію, але відрізняються номіналами міжзондових відстаней. Найбільш поширені номінали 1,00 і 0,75 мм На рис. 1.9 і 1.10 показані

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском: