Осаждения металла (Au)

Синтаксис:

#rate.depo machine=metal1 aluminum n.m sigma.dep=1 hemispheric dep.rate=5.0 angle1=1 angle2=-3

#deposit machine=metal1 time=5 minutes division=3

rate.depo machine=Posiv material=gold monte1 a.m dep.rate=1000 sigma.dep=0.75 stick.coef=0.5

deposit machine=Posiv time=3 minutes n.particle=10000

#rate.depo machine=Dildepo goold n.m sigma.dep=0.01 CVD dep.rate=5.0 \

#STEP.COV=2 angle1=0.1

#deposit machine=Dildepo time= minutes divis=0.3

structure outfile=test.str

tonyplot test.str

Рисунок 5 – Осаждения Au в отверстие после травления

Заключение

В данной работе было произведено знакомство с интерфейсом и некоторыми возможностями системы ANHENA-ELITE. В данной среде было промоделировано заземляющее отверстие с заданными параметрами.

Список литературы

1. Д.Д. Зыков, К.Ю. Осипов. Системы автоматизированного моделирования и проектирования технологических процессов и технологических маршрутов производ-ства СВЧ МИС, оптимизация производства (основы САПР Synopsys TCAD): учеб. пособие – Томск: В-Спектр, 2010. – 76 с.: ил.

2. The International Technology Roadmap for Semiconductors Official Site [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://www.itrs.net.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском: