Главная | Случайная
Обратная связь

ТОР 5 статей:

Методические подходы к анализу финансового состояния предприятия

Проблема периодизации русской литературы ХХ века. Краткая характеристика второй половины ХХ века

Ценовые и неценовые факторы

Характеристика шлифовальных кругов и ее маркировка

Служебные части речи. Предлог. Союз. Частицы

КАТЕГОРИИ:






Магнетрондық тозаңдату.




Магнетрондық тозаңдату көп жағдайға жарамды, оны тек металл нысаналарға емес, металл емес нысаналарға да қолданады.Магнетрондық тозаңдату қондырғысының схемасы:1 – катод-нысана; 2 - тұрақты магнит; 3 – ток көзі; 4 - анод; 5 – электрондар траекториясы; 6 – тозаңдау зонасы (жолағы); 7 – магнит өрісінің кернеулігінің күш сызықтары.Магнетрондық тозаңдату кезінде подложкалардың темп-сы жоғары емес (100 – 200 °С-ден төмен), сондықтан дәнектерінің өлшемі шамалы наноструктуралық пленкалар мен аморфтық пленкалар алу мүмкіндігі кеңейеді. Бірақ, доғалық әдістермен сал-да, тозаңдату жылд-ғы бірнеше есе төмен. Магентронды жүйелер диод типті тозаңдату жүйелеріне жатады. Бұл тозаңдатуда мат-ң тозаңдауы тлеющий разряд газынан пайда болатын жұмысшы газ иондарының нысана бетін бомбардирлеу, атқылау нәтижесінде болады. Магнит өрісі әсерінен тозаңданатын нысана бетінде плазманың локализациялануы арқылы иондық ток тығыздығы артқанда, тозаңдану жылдөғы да артады. Негізгі элемөі: анод, катод және магнитті жүйе. Нысана (теріс потенциал) мен анод (оң н/е теріс потенциал) арасына тұрақты кернеу берген кезде біртекті емес электр өрісі пайда болып, аномальді тлеющий разрядты тудырады. Тұйық магнит өрісінің болуы нысанада плазма разрядын туғызуға мүмкіндік жасайды. Катодтан иондық бомбардировка әсерінен эмиттерленген электрондар магнит өрісімен қоршалып, электрондар қақпанға түседі, бір жағынан магнит өрісі, 2ші электрондарды тебетін нысана беті. Осы қақпанға электрондар жұмысшы газ атомдарымен ионизациялық соқтығысулардан кейін, электрон электр өрісінен алған энергиясынан айырылады. Осылайша электрон эн-ның басым бөлігі анодқа барғанға дейін қоздыру мен ионизация үшін пайд-п, катод бетінде оң иондар концентрациясы өседі. Магнетрондық тозаңдату әдісімен әр түрлі мат-ды 4 кВт қуат көзімен алуға болады. Жұмыс істеу принципі: Ауыр аргон ионы электр өрісі әсерінен материал атомдарын соққылап, төсеніш бетіне отырғызады. Нысана бетінен бөлінген бөлш-р төсенішке пленка түрінде отырады. Негізгі сип-ы: электродтардағы кернеу, разряд тогы, нысанадағы ток тығыздығы және қуаты, жұмыс қысымы, индукция. Магнетронды жүйелер аз волтты тозаңдату жүйелеріне жатады. Тұрақты токта U=1000В, жұмыс кернеуі 200-700В, қысымы 1 t wx:val="Cambria Math"/><w:i/><w:sz w:val="35"/><w:sz-cs w:val="35"/></w:rPr><m:t>-2</m:t></m:r></m:sup></m:sSup><m:r><w:rPr><w:rFonts w:ascii="Cambria Math" w:h-ansi="Cambria Math"/><wx:font wx:val="Cambria Math"/><w:i/><w:sz w:val="35"/><w:sz-cs w:val="35"/></w:rPr><m:t> </m:t></m:r></m:oMath></m:oMathPara></w:p><w:sectPr wsp:rsidR="00000000"><w:pgSz w:w="12240" w:h="15840"/><w:pgMar w:top="1134" w:right="850" w:bottom="1134" w:left="1701" w:header="720" w:footer="720" w:gutter="0"/><w:cols w:space="720"/></w:sectPr></wx:sect></w:body></w:wordDocument>"> Па- ға дейін жұмыс жасайды. B=0.03-0.1Тл.




Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском:

vikidalka.ru - 2015-2018 год. Все права принадлежат их авторам! Нарушение авторских прав | Нарушение персональных данных