Главная | Случайная
Обратная связь

ТОР 5 статей:

Методические подходы к анализу финансового состояния предприятия

Проблема периодизации русской литературы ХХ века. Краткая характеристика второй половины ХХ века

Ценовые и неценовые факторы

Характеристика шлифовальных кругов и ее маркировка

Служебные части речи. Предлог. Союз. Частицы

КАТЕГОРИИ:






Молекулярлы шоқтық эпитаксия әдісі




Молекулярлы шоқты эпитаксия іс жүзінде жұқа пленкаларды вакуумда тозаңдатудың дамыған түрі болып келеді. Оның классикалық вакуумды тозаңдатудан ең басты ерекшелігі бұл техникалық процессті басқарудың жоғары дәрежесінің болуы. МШЭ әдісте жұқа монокристалдық қабаттар қыздырылған монокристалды төсеніште молекулярлық немесе атомдық шоқтар мен төсеніш бетінің арасындағы реакция әсерінен формаланады. Төсеніштің жоғарғы температурасы атомдардың бетке миграциялануына әкеледі. Нәтижесінде атомдар қатал түрде реттелген тәртіппен орналасады. Осы арқылы монокристаллды төсеніште бағытталған кристалдың өсуі формалана бастайды. Эпитаксия процесінің сәтті жүргізілуі төсеніш пен жабынды арасындағы параметрлерінің қатынасының дұрыс болуы және төсеніш температурасы мен түсетін шоқ интенсивтілігі арасындағы қатынастарды дұрыс таңдау керек. Пленка жабындысы материалына ұқсас болып келмейтін төсеніште монокристалды жабынды өскен кезде, химиялық өзара әсерлеспесе мұндай процесс гетероэпитаксия деп аталады. Төсеніш пен жабынды химиялық құрамы жағынан ерекшеленбесе, немесе кішкене ғана өзгеше болса, мұндай процессті гемоэпитаксия немесе автоэпитаксия деп атайды. Жабындылардың қабатын бағыттап өсіру, өскен кезде ол төсеніш затымен химиялық әсерге ұшыраса онда бұл процессті хемоэпитаксия деп атайды. Молекулярлы-сәулелену (шоқтық) эпитаксиясы әдісімен AIIIBV қосылыс негізінде гетеро құрылымдарды өсіруге арналған құрылғысының құрылысы: экран; сәйкесінше жапқыштары және эффузионды ұяшық фланецтері (жазық немесе дөңгелек сақиналар); экран, дифрактометр; жапқыш; айналатын ұстағыштағы үлгі; ионизационды индикатор; шлюзді клапан;үлгілерді ауыстыру үшін вакуумды шлюз; көретін терезе; үлгіні айналдыруғаа рналған двигатель. Эффузионды ұяшықта буланған қосылыстармен легирленетін қоспалар программаланған түрде арнайы дайындалған және қыздырылған үлгілердің үстіне конденсацияланады. Вакуумды шлюза жоғары вакуумдыс ақтай отырып үлгілердің ауысуын қамтамасыз етеді. Үлгінің айналуы құрамының біртектілігін және тозаңдатылатын қабықшалардың құрылымын қамтамасыз етеді, әрбірінің қалыңдығы бірнеше нанометрден микрон үлесіне дейін болады. Бұндай жағдайда бағытталған кристаллизация жүреді, яғни пленкамен тозаңдатылып жатқан кристалдық тор өсу процесінде кристалмен үлгіге белгілі бір заңдылықпен бағытталған. Бұндай пленкалар эпитаксиалды деп аталады. Негізінен эпитаксияны гомоэпитаксия және гетеро эпитаксия деп бөледі. Гомоэпитакцияда пленка материалымен үлгі бірдей, ал гетероэпитаксияда әртүрлі заттар қосылыс ғанда.

Бу фазасынан конденсациялану арқылы төсейтін пленка бірнеше элементар процестерді қамтиды:

адсорбцияны,

беттік диффузияны,

vikidalka.ru - 2015-2018 год. Все права принадлежат их авторам! Нарушение авторских прав | Нарушение персональных данных