Глубина зондирования

В случае электронного микрозонда информация собирается с небольшой глубины, т.е. интегрируется по области генерации рентгеновского излучения в каскадах столкновения зондирующих электронов, т.е. пока электроны имеют достаточную энергию, чтобы создавать электронные вакансии у встречных атомов, их торможение сопровождается генерацией рентгеновского излучения. Глубина зондирования определяется следующим эмпирическим соотношением:

Чтобы наблюдать К-серию, требуется существенно большая энергия, чем для L-серии, поэтому глубина зондирования для К-серии большая, чем для L-серии.

Таким образом, электронный микрозонд является не вполне поверхностным методом, и если мы рассматриваем частицы на поверхности, то мы видим сигнал как от этих частиц, так и от подложки.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском: