Визначення концентрації домішок з вимірювань електропровідності

Цей метод є найпоширенішим в метрології напівпровідників, оскільки він застосовується при розрахунках легування, а іноді і при розбраковуваній марочних монокристалів. Крім того, він найбільш простий в реалізації і експресний, оскільки по суті зводиться до вимірювань ПЕО.

Стосовно германію і кремнію цей метод використовують при кімнатних температурах (Т=300 До), грунтуючись на наступних допущеннях:

1. Присутні тільки прості донори і акцептори, що володіють дрібними енергетичними рівнями, повністю однократно іонізовані при Т=300 До.

2. Ступінь компенсації матеріалу незначний, тобто Nd>>N . В цій ситуації концентрація електронів в зоні провідності n=Nd-N , тобто метод дозволяє визначити різницеву концентрацію:

n=Nd-N= (3.1)

Табличні значення і добре відомі.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском: