Главная

Популярная публикация

Научная публикация

Случайная публикация

Обратная связь

ТОР 5 статей:

Методические подходы к анализу финансового состояния предприятия

Проблема периодизации русской литературы ХХ века. Краткая характеристика второй половины ХХ века

Ценовые и неценовые факторы

Характеристика шлифовальных кругов и ее маркировка

Служебные части речи. Предлог. Союз. Частицы

КАТЕГОРИИ:

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ. ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

12345678910Следующая ⇒



2.1Классификация вакуумных насосов

Вакуумные насосы можно классифицировать по следующим признакам: назначению, принципу действия, конструкции, характеру воздействия на откачиваемые газы и диапазону рабочих давлений.

По назначению насосы можно подразделить условно на форвакуумные ( Р=1,01-105—102 Па), высоковакуумные (Р=10-2—10-6 Па) и сверхвысоковакуумные (р=10-6—10-10 Па и ниже).

В зависимости от характера воздействия на откачиваемые газы различают насосы объемного действия, которые удаляют из откачиваемого объекта газ путем его сжатия в рабочем пространстве насоса и выталкивания в окружающую атмосферу или подачи в следующую ступень откачки, и поверхностного действия, которые удаляют из откачиваемого объекта газ путем связывания его на рабочих поверхностях насоса благодаря процессам адсорбции, конденсации, ионизации, диффузии и образования химических соединений.

Общая классификация современных вакуумных насосов представлена в табл.2.1.

Таблица 2.1 Классификация вакуумных насосов

По назна- чению По принципу действия, конструкции и характеру воздействия на откачиваемые газы Диапазон рабочих, давлений, Па
  насосы объемного действия насосы поверхностного действия предельное запуска
         
  Механические:      
  а) поршневые: с твердым поршнем   13,3 1,01×105
  с жидкостным   0,133 1,0.1×105
  поршнем (насос      
  Теплера)      
Форва- б) вращательные      
куумные многопластинчатые   13,3 1,01×105
  пластинчато- роторные   6,65— 1,01×105
      0,665  
  пластинчато- статорные   6,65— 1,01×105
      0,665  
  золотниковые   6,65— 1,01×105
      0,665  
  двухроторные   1,33×10-2 1,33×103
  Эжекторные:      
  а) водоструйные   6,66 103 1,01×105
  б) пароводяные   1,33 1,01× 105
  в) парортутные   10-2 1,33×103
  г) паромасляные   10-2 1,33×102
    Адсорбционные 1,33×10-2 1,01×105
         
  Диффузионные      
  пароструйные:      
  а)бустерные: паромасляные парортутные     10-2 10-3   1,33×102 1,33×103
  б) высоковакуумные:      
         
Высокова-куумные паромасляные парортутные   10-5 10-5 13,3 1,33×102  
    Ионные 10×10-6 1,33  
      10-5 10-2  
    Геттерные или 10-7 0,133  
    сублимационные      
  Турбомолекулярные   10×10-7 1,33  
    Электрофизические      
Сверхвыскова-   а) геттерно-ионные 10-7 10-2  
куумные   б)орбитровные магнитораз- 10-10 10-2  
    в) магниторазрядные 10-9 1,33  
    Криогенные или конденсационные 10-10 1,33×103  
    Комбинированные:      
    а) криосорбционные 10-10 10-2  
    б)криогенные + магнитноразрядные 10-8 1,33  
    в)магниторазрядные + геттерные 10-8 1,33  
  Диффузионные пароструйные со специальными ловушками        
  а) паромасляные с многоярусной прогреваемой ловушкой   10-8 13,3  
  б)парортутные с многоярусной прогреваемой ловушкой   10-10 1,33×102  

 

2.16 О бъемная откачка

В процессеобъемной откачки выполняются следующие основные операции:

1) всасывание газа за счет расширения рабочей камеры насоса,

2) уменьшение объема рабочей камеры и сжатие находящегося в ней газа,

3) удаление сжатого газа из рабочей камеры в атмосферу или насос предварительного разрежения.

 

12345678910Следующая ⇒




Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском:
vikidalka.ru - 2015-2025 год. Все права принадлежат их авторам! Нарушение авторских прав | Нарушение персональных данных