Газдық фазадан химиялық тұндыру.

CVD әдісі (химиялық газды фазалық тұндыру) бастапқы зат жеке камерада буланады, одан соң газдық фаза арқылы таңдап алынған төсенішке қажетті мөлшерде тұндырылады.

Пленка синтезінің сұлбасы, CVD-әдісімен:

1 - реактор; 2 - төсеніш; 3 – бастапқы компонент салынған ыдыс;

4 – буды араластырғыш; 5 – Будың конденсаторы (зат буының конденсациясы үшін жылуалмасу аппараты); 6 – пеш 7 – газы бар баллондар; 8 – вакуумды сорғы. Таңдалған төсеніште жұқа пленкалар алуға арналған құрылғының сұлбасында прекурсорларды булауға арналған сиымды ыдыспен, прекурсорлардың буын жіберу, қоспа газдары мен тасымалдағыш газдарды жіберу және айдау жүйесімен қамтылған төсеніші айналатын реактор бар.

Ұшқыш заттар ретінде, мысалы метал пленкасын алу үшін ұшқыш металдардың карбонилы, металлдардың алкил қоспасы және метал галогенидтері қолданылады. Бастапқы қосылыстың ыдырау процессі төсеніштің температурасымен, сонымен қатар газдық қоспа мен бу температурасымен анықталады. Төсеніштің температурасы төмен болған жағдайда, мысалы 130 - 190°С Fe(CO)5 үшін және 100 - 150°С Ni(CO)4 үшін пленканың өсуі карбонилдердің ыдырау жылдамдығымен анықталады, ~ 200° С температурада пленканың өсуі диффузионды аймаққа көшеді және баяулайды, өте жоғары температурада пленканың өсуі мүлде тоқтайды, өйткені прекурсор төсенішке жетпей ыдырайды. Реактордың ішінде тұрған төсеніштің қызуы электр тогын немесе жоғары жиіліктегі индукциялық токты өткізуінен, ИҚ сәулеленуінен және т.б. CVD анықтауыш факторлары:Буландырғышта ұшқыш прекурсорлардың (Прекурсор (лат. — бастамашы; жол салушы; негізін қалаушы) — белгілі мақсаттағы зат алу реакциясына қатысатын зат) қызу температурасы пленканың түзілуіне қатты әсерін тигізеді, өйткені реакторға парды жіберу жылдамдығына себепші болады. Екінші фактор реактордағы қысыммен газды айдау жылдамдығы. Қысымды арттырғанда төсеніш үстінде карбонилдердің ыдырауы баяулайды және пленканың өсуі тоқтайды, сонымен қатар қысымды және прекурсорды жіберу жылдамдығын азайтатын болсақта пленканың өсуі баяулайды. Үшінші фактор металы бар қосылыс концентрациясы. Прекурсор концентрациясын арттыруда реактор көлемінде оның ыдырауы туындайды және аэрозольді әдістегідей металлдың жеке кластерлері түзіледі. Прекурсор буының араластыру пленканың түзілу жылдамдығын түсіреді. Катализ қоспаларының әсері карбонилдердің ыдырау температурасын түсіреді және пленканың түзілу жылдамдығын арттырады.

9.Электролиздік тұндыру. Электролиттік тұндыру – екі электроды анод және катоды бар және электролиттермен толтырылған арнайы электролиттік ваннада электр тогының әсерінен сулы металл тұздарының ерітінділілерінен пленкалады тұндыру әдісі. Тұндырылатын пленканың қасиеттері электрот құрамына, ток тығыздығы, температура, металл иондарының дрейфінің жылдамдығы және төсеніш бетінің формасына байланысты болады, яғни осыларға тәуелді. Мысалы жез ерітіндісінен жезді электрліктұндыру кезінде анод ретінде жездік пластина алынады. Электродтарға әр түрлі потенциалдар берген кезде электролиттердің иондарға жіктеледі. Электр тогын ерітіндімен әрекеттестірген кезде металл иондары анодқа қарай қозғалып, сол ерітінділердегі электрондарды қосып алып нейтралды атомдарға айналады. Металл атомдарын тұндыру төсеніш құрылымындағы дефектілерде басталып, ары қарай пленканы түзеді. Осылайша пленка островкалары өсіп, жан жағына жайылып бірігеді. Электролиздік тұндыру әдісімен балқытылған LiCl - КС1 - СаС12, LiCl-KCI-NaCl, LiCl - KCI - MgCl2 ерітінділерінде титанды дендридтер түрінде тұндыруға болады. Бұл әдіспен алынған пленкалар жұқа әрі біртекті болады, сол себепті құрамында өзге тұздары жоқ плутонийдің таза ерітінділерінен эталондық препараттарды дайындауда жиі пайдаланылады.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском: