Иондық-плазмалық тұндыру әдісі.

Наноұнтақтарды алу үшін энергия көзі ретінде плазманы немесе лазер сәулесін қолданады. Плазмада қарапайым жағдайда жүрмейтін реакцилар өтеді. Реакция 10^-3-10^-6 c жүреді. Бұл кезде реакция зонасынан өнімді жылдам алып тұру керек. Ионды плазманы көбінесе электр доғамен, электронды жоғары жиілікті өрістен, немесе олардың комбинациясынан алады. Осындай процесске қолданылатын аппараттарды плазматрон деп атайды. Плазматронға жіберілетін бастапқы өнім ретінде газдар, сұйық немес қатты денелерде болуы мүмкін. Жалпы иондық тұндыру дегеніміз - материалдарды инертті газ иондарымен немесе тұндырылатын материал иондарымен тұндыру. Төсеніш бетінде екі түрлі процесс жүреді. Пленка материалын тұндыру және оны иондармен атқылау. Иондық атқылау кезінде тозаңдану мен төсеніш беті және тұндырылатын пленканың активациясы жүреді, яғни иондық атқылау ұрықпайда болу процесіне және пленканың кинетикалық өсуіне өз әсерін тигізеді. Төсенішті иондық атқылау арқылы болатын ионды – плазмалық тұндыру, теріс электрпотенциалын беру арқылы жүргізіледі (200-300В). Иондық атқылау процесі тұндыруға дейін, тұндыру кезінде және тұндыру аяқталғаннан кейінде жүре береді. Пленкаларды ионды – плазмалық тұндырудың басқалардан ерекшелігі тозаңдатылатын нысананы бомбардирлейтін және плазманы пайда қылдыратын, түзетін техникалық средстволардың болуы. ионды – плазмалық тұндырудың триодты құрылғыларында плазмаға қатысты теріс потенциал берілетін, тозаңдалатын нысан үшінші электрод болып табылады. Сонда құрылғыда үш электрод болады: анод, катод және тозаңдалатын нысана. Төсеніш нысанаға қарсы орналасады. Анод пен катод арасындағы разрядтағы инертті газ иондары, плазмадан шығып күшті тездетуші электр өрісі әсерінен нысанаға юбағытталып, оны атқылайды. Нысанаға өткізгіш материал үшін тұрақты теріс кернеу беруге болады. Ток разрядын күшейту үшін ток иондарының тығыздығына термокатод пайдаланылады. Вакуумдық камерада плазманы белгілі бір аумақта ұстап тұру үшін магнит өрісі пайдаланылады. Периодты жүйелерде ішкі камерада қысым Па-ды құрайды. Нысананы тозаңдату жылдамдығы 0,02-0,3 мкм/мин.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском: